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日前华为突然发布Mate60 Pro。评测显示该机型搭载的麒麟9000S处理器是一颗国产7nm工艺芯片，这意味着国产光刻机可能实现了重大突破。各种关于国产光刻机的消息吸引了市场广泛关注。

光刻机是半导体产业“王冠上的明珠”。全球光刻机市场几乎被ASML、佳能和尼康垄断，其中ASML更是独占高端极紫外光刻机(EUV)的市场份额。随着这些国家对中国半导体制造设备实施出口限制，中国获取高端光刻机的难度将进一步加大。推进光刻机关键技术研发，提升半导体设备国产化率是我国半导体产业乃至整个工业发展最为困难，也是最为关键的必由之路。近年来，中国企业在光刻机技术、设备生产、应用领域等方面都取得了重要进展。据此前证券日报报道，上海微电子设备(集团)有限公司正在致力于研发28纳米浸没式光刻机，预计在2023年底将国产第一台SSA/800-10W光刻机设备交付市场。专业人士指出，通过浸没式光刻机，以及双重曝光、多重曝光、计算光刻等技术，理论上是可以用DUV制造7nm 工艺芯片。

上海微电子是中国光刻机设备制造国家队领军企业之一，其第一大股东是A股上市公司S上海电气(sh601727)S的大股东上海电气控股集团有限公司，此外S张江高科(sh600895)S通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子%股权。

上海电气控股集团除了通过上海微电子布局光刻机，还在8月中旬悄然参与设立了一家名为上海爱晨纳电子科技集团有限公司。该公司注册资本金70亿元，法人丁功明此前曾在上海微电子主导多项光刻机相关发明专利。种种迹象表明，上海爱最纳肩负重任而且或将涉足光刻机产业。此前曾有消息称，“十四五”期间，上海电气将承担、光刻机、高端数控机床、快堆种核能反应堆)、船用曲轴、大型铸锻件、航空工业等国家“卡脖子”技术攻关任务。后续国产光刻机技术突破以及转化，上海电气控股集团必然扮演重要角色，从而给上海电气带来巨大预期差。

张江高科正以科技投行作为战略发展方向努力寻求产业地产和产业投资业务有机融合、协同发展,并对接资本市场进行价值发现。公司围绕张江科学城主导行业进行投资，以“直投+基金”模式进行投资布局，其中半导体行业已投项目众多，市场表现较为突出。已投半导体项目中，今年以来南芯科技、慧智微均在科创板上市，今年公司通过基金方式新增投资的半导体芯片公司也包括中茵微、观海微、冶精微等。

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